Thông tin chung
  English
  Đề tài NC khoa học
  Bài báo, báo cáo khoa học
  Hướng dẫn Sau đại học
  Sách và giáo trình
  Các học phần và môn giảng dạy
  Giải thưởng khoa học, Phát minh, sáng chế
  Khen thưởng
  Thông tin khác
  Tài liệu tham khảo
  Hiệu chỉnh
 
Số người truy cập: 107,518,229

 An Efficient Design of the Piezoresistive Pressure Sensor Applied for Micro Aerial Vehicle
Tác giả hoặc Nhóm tác giả: Anh-Duc Pham*; Trieu Khoa Nguyen; Hong Hieu Le; Phuoc Vinh Dang
Nơi đăng: International Journal of Integrated Engineering (IJIE) (ESCI/Scopus); Số: 15(1);Từ->đến trang: 35-44;Năm: 2023
Lĩnh vực: Khoa học công nghệ; Loại: Bài báo khoa học; Thể loại: Quốc tế
TÓM TẮT
In this research, the developing process of a piezoresistive pressure sensor working in the atmosphere environment applied in micro aerial vehicle using the MEMS fabrication method is introduced. The sensor consists of four Au/Cr piezoresistors in a Wheatstone bridge configuration on a wet oxidized silicon diaphragm. To fabricate the sensor, three lithographic steps were conducted: the first one is to define the resistors and Au/Cr lines/pads, the second and the third ones are to determine the width and the thickness of the square SiO2/Si diaphragm, respectively. The sensor diaphragm shape and thickness were defined by the anisotropic etching of Si in tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution, and the resistors array are formed by sputtering and wet etching method. The sensor size is ~6000 µm by 6000 µm. The sensor output voltage was measured for various applied pressure levels from 0 to 1.2 bar with 5V voltage supply. The fabricated sensor also exhibits a sensitivity of 50.01 mV/bar.
ABSTRACT
© Đại học Đà Nẵng
 
 
Địa chỉ: 41 Lê Duẩn Thành phố Đà Nẵng
Điện thoại: (84) 0236 3822 041 ; Email: dhdn@ac.udn.vn