Thông tin chung
  English
  Đề tài NC khoa học
  Bài báo, báo cáo khoa học
  Hướng dẫn Sau đại học
  Sách và giáo trình
  Các học phần và môn giảng dạy
  Giải thưởng khoa học, Phát minh, sáng chế
  Khen thưởng
  Thông tin khác
  Tài liệu tham khảo
  Hiệu chỉnh
 
Số người truy cập: 106,739,634

 Các đặc tính của transistor màng mỏng silic đa tinh thể được kết tinh pha rắn bằng cách sử dụng lớp kích thích kết tinh YSZ và phương pháp nung hai bước sử dụng chùm laser xung
Tác giả hoặc Nhóm tác giả: Mai Thi Kieu Lien, Susumu Horita
Nơi đăng: The Japan Society of Applied Physics-JSAP, 63rd Spring Meeting; Số: 63;Từ->đến trang: 11-256;Năm: 2016
Lĩnh vực: Khoa học công nghệ; Loại: Báo cáo; Thể loại: Quốc tế
TÓM TẮT
Trong nghiên cứu trước, chúng tôi đã trình bày về hiệu ứng kích thích kết tinh của lớp YSZ (oxit zơconi được ổn định bằng oxit yttri) lên màng mỏng silic vô định hình pha tạp phốt pho được kết tinh pha rắn bằng phương pháp nung hai bước sử dụng chùm laser xung YAG. Kết quả cho thấy độ linh động Hall và khả năng kích hoạt tạp chất phốt pho của màng silic kết tinh trên lớp YSZ cao hơn so với màng silic kết tinh không có lớp YSZ. Trong nghiên cứu này, chúng tôi chế tạo transistor màng mỏng silic kết tinh pha rắn trên lớp YSZ với độ linh động hiệu ứng trường lên đến ~80 cm2/Vs, cao gấp hai lần và độ lệch chuẩn của nó chỉ bằng một nữa so với không dùng lớp YSZ.
ABSTRACT
In the previous meeting, we reported the effectiveness of the YSZ crystallization-induction on improving the quality of P-doped poly-Si solid-phase crystallized by the two-step method using pulsed laser. The result showed that the Hall mobility and ability of dopant activation of the poly-Si thin-film on the YSZ layer are higher than that without the YSZ layer. In this study, we successfully fabricated SPC poly-Si TFTs on YSZ layers with the relatively high field-effect mobility up to ~80 cm2/Vs, twice higher than those without YSZ layers.
© Đại học Đà Nẵng
 
 
Địa chỉ: 41 Lê Duẩn Thành phố Đà Nẵng
Điện thoại: (84) 0236 3822 041 ; Email: dhdn@ac.udn.vn