Thông tin chung
  English
  Đề tài NC khoa học
  Bài báo, báo cáo khoa học
  Hướng dẫn Sau đại học
  Sách và giáo trình
  Các học phần và môn giảng dạy
  Giải thưởng khoa học, Phát minh, sáng chế
  Khen thưởng
  Thông tin khác
  Tài liệu tham khảo
  Hiệu chỉnh
 
Số người truy cập: 106,847,115

 Improved patterning of ITO coated with gold masking layer on glass substrate using nanosecond fiber laser and etching
Tác giả hoặc Nhóm tác giả: Nguyen Ngoc Tan, Duong Thanh Hung, Anh T. Vo, Kang BongChul, Kim HyunChul
Nơi đăng: Applied Surface Science (* SCI *); Số: 336;Từ->đến trang: 163-169;Năm: 2015
Lĩnh vực: Khoa học công nghệ; Loại: Bài báo khoa học; Thể loại: Quốc tế
TÓM TẮT
ABSTRACT
In this paper, an indium–tin oxide (ITO) thin-film patterning method for higher pattern quality and productivity compared to the short-pulsed laser direct writing method is presented. We sputtered a thin ITO layer on a glass substrate, and then, plated a thin gold layer onto the ITO layer. The combined structure of the three layers (glass–ITO–gold) was patterned using laser-induced plasma generated by an ytterbium pulsed fiber laser (λ = 1064 nm). The results showed that the process parameters of 50 mm/s in scanning speed, 14 ns pulse duration, and a repetition rate of 7.5 kHz represented optimum conditions for the fabrication of ITO channels. Under these conditions, a channel 23.4 μm wide and 20 nm deep was obtained. However, built-up spikes (∼15 nm in height) resulted in a decrease in channel quality, and consequently, short circuit occurred at some patterned positions. These built-up spikes were completely removed by dipping the ITO layer into an etchant (18 wt.% HCl). A gold masking layer on the ITO surface was found to increase the channel surface quality without any decrease in ITO thickness. Moreover, the effects of repetition rate, scanning speed, and etching characteristics on surface quality were investigated.
[ https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.10.122 ]
© Đại học Đà Nẵng
 
 
Địa chỉ: 41 Lê Duẩn Thành phố Đà Nẵng
Điện thoại: (84) 0236 3822 041 ; Email: dhdn@ac.udn.vn