Thông tin chung
  English
  Đề tài NC khoa học
  Bài báo, báo cáo khoa học
  Hướng dẫn Sau đại học
  Sách và giáo trình
  Các học phần và môn giảng dạy
  Giải thưởng khoa học, Phát minh, sáng chế
  Khen thưởng
  Thông tin khác
  Tài liệu tham khảo
  Hiệu chỉnh
 
Số người truy cập: 107,156,342

 CHẾ TẠO VÀ KIỂM TRA ĐẶC ĐIỂM CỦA THANH MỀM CÔNG XÔN Ở KÍCH THƯỚT MICRO
Tác giả hoặc Nhóm tác giả: Pham Thi Thao Khuong*, Pham Van Phat
Nơi đăng: TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ - ĐẠI HỌC ĐÀ NẴNG; Số: VOL. 20, NO. 11.2, 2022;Từ->đến trang: 67-74;Năm: 2022
Lĩnh vực: Khoa học công nghệ; Loại: Bài báo khoa học; Thể loại: Trong nước
TÓM TẮT
Thanh mềm công xôn đã trở thành một cấu trúc phổ biến được sử dụng trong nhiều hệ thống vi cơ điện tử (MEM). Ví dụ, thanh công xôn áp điện được gắn vào cảm biến áp suất do Memscap sản xuất hoặc được sử dụng rộng rãi trong máy phát điện MEMs, nhằm thu năng lượng từ rung động. Trong bài báo này, thanh công xôn được thiết kế và chế tạo trên các tấm silicon. Phần mềm L-Edit dùng để thiết kế hai mặt nạ cho bước phơi sáng. Quá trình chế tạo bao gồm quang khắc, bay hơi nhiệt đồng và khắc được thực hiện để đạt được các thanh công xôn như thiết kế. Độ dày của mỗi lớp được đo sau mỗi bước để khảo sát chiều cao của công xôn so với nền. Tất cả các công việc trong phòng thí nghiệm và kết quả đã đạt được, sẽ được trình bày chi tiết trong báo cáo này
ABSTRACT
Cantilever beam has become a ubiquitous structure which is utilized in many microelectromechanical systems (MEMs). For instance, piezoelectric cantilever beams are mounted into pressure sensors produced by Memscap or widely used in MEMs generators harvesting energy from vibration. In this paper, cantilever beams are designed and fabricated on silicon wafers. L-Edit software is used to design two masks for light exposure step. Fabrication process including photolithography, copper thermal evaporation, and etching is done to achieve the designed cantilever beams. The thickness of each layer is measured after each step to investigate the height of the cantilevers to the substrate. All lab work and accomplished results, in this report, will be represented in detail.
© Đại học Đà Nẵng
 
 
Địa chỉ: 41 Lê Duẩn Thành phố Đà Nẵng
Điện thoại: (84) 0236 3822 041 ; Email: dhdn@ac.udn.vn